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工程技术论坛Engineering Technology Forum

收录数据库:ISSN:https://portal.issn.org/ 中国知网:https://scholar.cnki.net/journal/search

ISSN:3079-9023(Print)
ISSN:3080-1508 (Online)
DOI:10.64216/3080-1508.25.02.047出版频率:月刊
语言:中文
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      《工程技术论坛》是一本关注工程技术最新研究进展的国际开源中文期刊,刊登的内容主要面向工程管理跟工程技术,反映国内外工程建设领域的高新技术应用模式和工程管理的新理论、新方法,服务于工程建设各阶段的管理工作,提升工程建设管理水平和从业人员素质。
      期刊范围:建设经济与管理、城乡建设管理、项目管理、技术创新、施工技术、电力技术、工程技术、预算与造价,房地产经济与管理、建设工程研究施工组织与管理,工程项目招投标与合同管理,工程建设监理等。
      本刊是一本由同行评审的高要求、高水准的学术期刊出版物,编者鼓励与本刊相关的、有理论和实践贡献的来稿
      文稿严禁抄袭,一律文责自负。

半导体刀具云端协同管理系统开发
陈燕

杭州道亦杰合智创科技有限公司,浙江杭州311217

摘要:随着半导体制造工艺的日趋精密,刀具作为核心加工工具,其性能状态直接关系到产品的良率与生产效率。传统的刀具管理模式往往依赖人工记录、局部监控与周期性更换,存在响应滞后、资源浪费与协同效率低的问题。本文基于工业互联网与云计算技术,提出并开发了一套半导体刀具云端协同管理系统。该系统实现了刀具全生命周期数字化管理、状态智能识别与跨设备、跨区域的云端协同共享。通过引入边缘计算节点与云端大数据分析平台,系统可对刀具使用状态进行实时感知与预测性维护,同时支持与MES、ERP等上位系统的无缝集成,全面提升了刀具管理的智能化与精益化水平。研究结果表明,该系统可有效降低刀具非计划停机事件、提升刀具利用率并显著增强工艺协同效率,具备广泛的产业应用前景。

关键词:半导体制造;刀具管理;云计算;边缘智能;协同系统;大数据分析

参考文献

[1]林齐,孙志宏,唐甜鑫.基于三维模拟组装技术的刀具管理系统的开发与应用[J].东华大学学报(自然科学版).2017,(3).

[2]孔庆涛.基于特征的数控刀具分类体系及编码系统研究[J].工具技术.2017,(7).

[3]万敏,安铃芝.基于MATLAB的双关节机械手控制系统仿真研究[J].塑性工程学报.2017,(6).DOI:10.3969/j.issn.1007-2012.2017.06.022.

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