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摘要：随着半导体制造工艺的日趋精密，刀具作为核心加工工具，其性能状态直接关系到产品的良率与生产效率。传统的刀具管理模式往往依赖人工记录、局部监控与周期性更换，存在响应滞后、资源浪费与协同效率低的问题。本文基于工业互联网与云计算技术，提出并开发了一套半导体刀具云端协同管理系统。该系统实现了刀具全生命周期数字化管理、状态智能识别与跨设备、跨区域的云端协同共享。通过引入边缘计算节点与云端大数据分析平台，系统可对刀具使用状态进行实时感知与预测性维护，同时支持与MES、ERP等上位系统的无缝集成，全面提升了刀具管理的智能化与精益化水平。研究结果表明，该系统可有效降低刀具非计划停机事件、提升刀具利用率并显著增强工艺协同效率，具备广泛的产业应用前景。
关键词：半导体制造；刀具管理；云计算；边缘智能；协同系统；大数据分析
参考文献
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