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《工程技术论坛》是一本关注工程技术最新研究进展的国际开源中文期刊，刊登的内容主要面向工程管理跟工程技术，反映国内外工程建设领域的高新技术应用模式和工程管理的新理论、新方法，服务于工程建设各阶段的管理工作，提升工程建设管理水平和从业人员素质。
期刊范围:建设经济与管理、城乡建设管理、项目管理、技术创新、施工技术、电力技术、工程技术、预算与造价，房地产经济与管理、建设工程研究施工组织与管理，工程项目招投标与合同管理，工程建设监理等。
本刊是一本由同行评审的高要求、高水准的学术期刊出版物，编者鼓励与本刊相关的、有理论和实践贡献的来稿
文稿严禁抄袭，一律文责自负。
海宁跨界国际半导体制造有限公司，浙江嘉兴，314400；
摘要：在半导体制造流程中，晶圆的高精度、高洁净度传输是保障良率与生产效率的关键环节。传统的机械臂传输系统在路径规划、容错控制、洁净防护等方面存在明显瓶颈，难以满足先进制程对智能化与柔性化的要求。本文针对半导体晶圆在真空腔体、洁净室及多工艺平台之间的复杂搬运需求，设计并开发了一套基于多传感融合、AI路径优化与自主容错机制的智能机械臂控制系统。文章从系统总体架构、核心算法模型、软硬件集成实现等方面展开论述，结合晶圆装载测试场景，验证了系统在提升搬运精度、响应效率和运行稳定性方面的显著成效，具有较强的工程实用价值和推广潜力。
关键词：半导体设备；晶圆搬运；机械臂控制；路径规划；智能调度；洁净自动化
参考文献
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