海宁跨界国际半导体制造有限公司，浙江嘉兴，314400；
摘要：在半导体制造流程中，晶圆的高精度、高洁净度传输是保障良率与生产效率的关键环节。传统的机械臂传输系统在路径规划、容错控制、洁净防护等方面存在明显瓶颈，难以满足先进制程对智能化与柔性化的要求。本文针对半导体晶圆在真空腔体、洁净室及多工艺平台之间的复杂搬运需求，设计并开发了一套基于多传感融合、AI路径优化与自主容错机制的智能机械臂控制系统。文章从系统总体架构、核心算法模型、软硬件集成实现等方面展开论述，结合晶圆装载测试场景，验证了系统在提升搬运精度、响应效率和运行稳定性方面的显著成效，具有较强的工程实用价值和推广潜力。
关键词：半导体设备；晶圆搬运；机械臂控制；路径规划；智能调度；洁净自动化
参考文献
[1]解欢,曾威.带台阶的D形橡胶密封圈密封特性分析[J].润滑与密封.2017,(11).DOI:10.3969/j.issn.0254-0150.2017.11.022.
[2]殷冬冬.O形橡胶密封圈的非线性有限元初探[J].橡塑技术与装备.2017,(18).DOI:10.13520/j.cnki.rpte.2017.18.005.
[3]陈平,王昫心,李琪琪,等.外嵌金属环式鞍形橡胶密封圈密封性能分析[J].润滑与密封.2017,(7).DOI:10.3969/j.issn.0254-0150.2017.07.014 .
