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工程技术论坛Engineering Technology Forum

收录数据库:ISSN:https://portal.issn.org/ 中国知网:https://scholar.cnki.net/journal/search

ISSN:3079-9023(Print)
ISSN:3080-1508 (Online)
DOI:10.64216/3080-1508.25.06.031出版频率:月刊
语言:中文
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      《工程技术论坛》是一本关注工程技术最新研究进展的国际开源中文期刊,刊登的内容主要面向工程管理跟工程技术,反映国内外工程建设领域的高新技术应用模式和工程管理的新理论、新方法,服务于工程建设各阶段的管理工作,提升工程建设管理水平和从业人员素质。
      期刊范围:建设经济与管理、城乡建设管理、项目管理、技术创新、施工技术、电力技术、工程技术、预算与造价,房地产经济与管理、建设工程研究施工组织与管理,工程项目招投标与合同管理,工程建设监理等。
      本刊是一本由同行评审的高要求、高水准的学术期刊出版物,编者鼓励与本刊相关的、有理论和实践贡献的来稿
      文稿严禁抄袭,一律文责自负。

大数据在半导体制造过程质量管控中的应用研究
方云鹏 赵山岭通讯作者

润鹏半导体(深圳)有限公司,广东深圳518000

摘要:随着半导体制造技术的不断进步,对产品质量的要求日益严苛。大数据技术凭借其强大的数据处理和分析能力,为半导体制造过程的质量管控提供了新的解决方案。本文深入探讨大数据在半导体制造质量管控中的应用,详细阐述其在数据收集与预处理、质量特征提取、模型构建与质量预测、实际应用场景以及面临的挑战与应对策略等方面的内容。研究表明,大数据技术能够有效提升半导体制造过程的质量管控水平,增强企业竞争力,但在应用过程中也需解决数据安全、人才短缺等问题,以推动半导体产业的高质量发展。

关键词:大数据;半导体制造;质量管控;机器学习

参考文献

[1]张明,李华.基于深度学习的半导体检测与预测算法研究(二)——多模态融合晶圆检测系统[J].半导体学报,2025,46(2):123-135.

[2]王磊,赵静.基于深度学习的半导体故障诊断与寿命预测算法研究——基于机器学习的半导体探测器健康状态监测及寿命预测方法[J].微电子学与计算机,2025,42(5):45-56.

[3]刘阳,陈晨.基于云大数据湖的半导体制造先进分析应用[J].计算机工程与应用,2023,59(15):25-35.

[4]周强,吴悦.贝叶斯AEWMA控制图在半导体制造过程监测中的应用[J].工业工程与管理,2023,28(3):112-120.

[5]陈辉,李萌.多模态融合晶圆检测系统在半导体生产中的效能研究[J].现代制造工程,2025,45(4):45-56.

[6]赵宇,孙浩.基于机器学习的半导体探测器健康状态监测及寿命预测[J].传感器与微系统,2025,44(6):35-45.

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