海宁跨界国际半导体制造有限公司，浙江嘉兴，314400；
摘要：随着半导体制造复杂度和精密度不断提升，传统以信息系统（IT）与运营技术（OT）相互割裂为特征的工厂管理模式已难以支撑对工艺稳定性、产能弹性、资源优化和智能决策的综合需求。实现IT-OT深度融合，构建一体化的智能工厂系统架构，已成为半导体企业推动精益制造、柔性协同与智能化运维的关键路径。本文围绕半导体行业高洁净度、高精密度、高节拍制造的特殊需求，探讨了IT系统与OT系统融合的核心挑战，提出了“边缘控制-中台协同-云端治理”三层联动的融合架构模型，并详细阐述了数据贯通、标准化接口、统一模型驱动等关键技术路径。通过结合实际场景与系统构建案例，验证该架构在支持工艺优化、质量追溯、设备预测性维护及智慧决策等方面的显著价值。
关键词：半导体制造；IT-OT融合；系统架构；智能工厂；MES；边缘计算；工业数据平台
参考文献
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